過(guò)氧化氫低溫等離子體滅菌通過(guò)過(guò)氧化氫液體彌散變成氣體狀態(tài)后對(duì)物品進(jìn)行滅菌，通過(guò)產(chǎn)生的等離子體進(jìn)行第二階段滅菌等離子過(guò)程還可加快、徹底分解過(guò)氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。等離子體滅菌法的特點(diǎn)為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無(wú)毒性殘留。適用于不耐熱、不耐濕的診療器械的滅菌，如電子儀器、光學(xué)儀器等診療器械的滅菌，不適用于布類(lèi)、紙類(lèi)、水、油類(lèi)、粉劑等材質(zhì)的滅菌。

等離子滅菌應(yīng)在專(zhuān)用的過(guò)氧化氫低溫等離子體滅菌器內(nèi)進(jìn)行，一次滅菌過(guò)程包含若干個(gè)循環(huán)周期，每個(gè)循環(huán)周期包括抽真空、過(guò)氧化氫注入、擴(kuò)散、等離子化、通風(fēng)五個(gè)步驟。過(guò)氧化氫為強(qiáng)氧化劑，在使用時(shí)需注意做好防護(hù)，防止皮膚、黏膜被滅菌劑沾染。過(guò)氧化氫等離子滅菌方式對(duì)被滅菌物品的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、干燥程度等有著極高的要求，應(yīng)嚴(yán)格按照滅菌器使用要求進(jìn)行滅菌，以免造成滅菌失敗。